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Caractérisation et nettoyage du silicium / Annie BAUDRANT
Titre : Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide Type de document : texte imprimé Auteurs : Annie BAUDRANT, Auteur Editeur : Hermes Science Année de publication : 2003 Autre Editeur : Lavoisier Importance : 218p. Présentation : ill. Format : 24cm. ISBN/ISSN/EAN : 978-2-7462-0605-6 Langues : Français (fre) Langues originales : Français (fre) Catégories : 04 Génie Electrique Mots-clés : nettoyage du silicium en micro-électronique techniques de caractérisation physico-chimique Index. décimale : 04-00 Généralité Caractérisation et nettoyage du silicium : caractérisation physico-chimique et nettoyage par voie humide [texte imprimé] / Annie BAUDRANT, Auteur . - Hermes Science : Lavoisier, 2003 . - 218p. : ill. ; 24cm.
ISSN : 978-2-7462-0605-6
Langues : Français (fre) Langues originales : Français (fre)
Catégories : 04 Génie Electrique Mots-clés : nettoyage du silicium en micro-électronique techniques de caractérisation physico-chimique Index. décimale : 04-00 Généralité Réservation
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